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Products

December 7, 2015

ELS-G100


Image: 
Product Series: 
G-Serie
ELS-G100

Die Elionix ELS-F100 ist ein High-Speed, hochpräzise thermische Feldemissions (TFE) Elektronenstrahl-Lithographiesystem entwickelt, um den Markt für die Bedürfnisse der nächsten Generation nanometrread more



Model:
Model: 
ELS-G100
Nano Specs:
Nano Specs: 
  • Erzeugt Muster mit einer Linienbreite von 7 nm
  • Stabile 1,8 nm Elektronenstrahls mit hoher Strahlstrom bei 100 kV
  • Ein 20bit DAC bietet eine hohe Strahlpositionierung Auflösung
  • Bei einem Strahlstrom von 1 nA kann 20nm Linien über den gesamten Bereich 500 um ohne Naht geschrieben werden
  • 8-Zoll-Bühne
Download Brochure: 
December 8, 2015