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nanofabricación


NNanofabrication abarca diversos campos, tales como; circuitos de estado sólido y nanofotónicos, sistemas microelectromecánicos, y los sistemas de microfluidos. Los Elionix litografía por haz de electrones (EBL) herramientas son conocidos por ultra-alta precisión para fabricar pequeños nano-estructuras, excelente fiabilidad, pequeña huella, y de bajo coste de propiedad.

Desde 1975, Elionix ha hecho importantes contribuciones en el campo de procesamiento de multa, y la medición y el análisis. La filosofía corporativa Elionix es que dos CS; Challenge y velocidad, y satisfacción del cliente. Hasta la fecha, Elionix ha vendido más de 350 sistemas EBL a la investigación institutos y clientes industriales en todo el mundo.

Electron Beam Lithography


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LOS-F125
  • columna 125kV
  • 8 "(200 mm) de la etapa
  • Líneas 5 nm o menos (garantizado)
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LOS-F100
  • columna 100kV
  • 8 "(200 mm) de la etapa
  • Líneas 6 nm o menos (garantizado)
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LOS-G100
  • columna 100kV
  • 6 "(150 mm) de la etapa
  • Líneas 6 nm o menos (garantizado)

Rayo de electrones
Sistemas litográficos:

Por más de 40 años, Elionix ha sido exhaustiva en su búsqueda de la calidad y el rendimiento. Esto les líder mundial en la litografía por haz de electrones ha hecho.

En Elionix, el énfasis está en los sistemas de ingeniería que son estables, robustos y ofrecen altas tasas de utilización. Aprende más >>

Electron Beam litográficos archivo:

  • Los sistemas de 125kV y 100kV Elionix EBL ofrecen líneas ultrafinas y retícula

  • El Patrón Generador Elionix círculo (CPG) permite fina, suave y rápida la escritura de patrones de timbre y de arco

  • Los sistemas EBL Elionix Redacción De rápido en grandes campos con una distorsión mínima en corrientes de haz altas


October 23, 2015