• English
  • Français
  • Deutsch
  • Español
  • 日本語

ELS-F100


Image: 
Product Series: 
F Series
ELS-F100

El Elionix ELS-F100 es una alta velocidad y ultra sistema de litografía por haz de electrones de alta precisión térmica de emisión de campo (TFE) desarrollado para satisfacer las necesidades del meread more



Model:
Model: 
ELS-F100
Nano Specs:
Nano Specs: 
  • Genera patrones con una anchura de línea de 7nm
  • Haz de electrones 1,8 nm estable con corriente de carretera en 100kV
  • Un DAC 20bit ofrece una resolución de posicionamiento de carretera
  • En una corriente del haz 1nA, líneas de 20nm se puede escribir sobre todo un 500μm
  • Etapa 8 pulgadas
Download Brochure: 
December 8, 2015