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Products

December 7, 2015

ELS-G100


Image: 
Product Series: 
G Series
ELS-G100

El Elionix ELS-F100 es una alta velocidad y ultra sistema de litografía por haz de electrones de alta precisión térmica de emisión de campo (TFE) desarrollado para satisfacer las necesidades del meread more



Model:
Model: 
ELS-G100
Nano Specs:
Nano Specs: 
  • Genera patrones con una anchura de línea de 7nm
  • Haz de electrones 1,8 nm estable con corriente de carretera en 100kV
  • Haz de electrones 1,8 nm estable con corriente de carretera en 100kV
  • En una corriente del haz 1nA, líneas de 20nm se puede escribir sobre un campo 500μm entero sin costura
  • Etapa 8 pulgadas
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December 8, 2015