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nanofabrication


NNanofabrication englobe divers domaines tels que; nanophotonique et les circuits état solide, systèmes microélectromécaniques, et les systèmes microfluidiques. Les outils Elionix lithographie par faisceau d'électrons (EBL) sont connus pour ultra-haute précision pour fabriquer des petits nano-structures, une excellente fiabilité, faible encombrement et à faible coût de possession.

Depuis 1975, Elionix a apporté d'importantes contributions dans les domaines de l'amende de traitement, et de la mesure et de l'analyse. La philosophie de l'entreprise est celle de Elionix Deux PR; Défi et la vitesse, et la satisfaction de la clientèle. À ce jour, Elionix a vendu plus de 350 systèmes EBL à la recherche des instituts et des clients industriels dans le monde entier.

Electron Beam Lithography


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ELS-F125
  • 125kV Colonne
  • 8 "(200mm) Étape
  • Lignes 5 nm ou moins (garanti)
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ELS-F100
  • 100kV Colonne
  • 8 "(200mm) Étape
  • Lignes 6 nm ou moins (garanti)
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ELS-G100
  • 100kV Colonne
  • 6 "(150mm) Étape
  • Lignes 6 nm ou moins (garanti)

Un faisceau d'électrons
Lithographie Systems:

Pour plus de 40 ans, a été Elionix exhaustive dans leur poursuite de qualité et de performance. Cette eux le leader mondial dans le faisceau d'électrons Lithography a fait.

Au Elionix, l'accent est mis sur les systèmes d'ingénierie qui sont stables, robustes et offrent des taux d'utilisation élevésApprendre encore plus >>

Lithographie par faisceau d'électrons Images:

  • Les systèmes Elionix 125kV et 100kV EBL offrent des lignes ultra-fines et profil de hauteur

  • Le Pattern Generator Elionix Cercle (CPG) permet une écriture fine, lisse et rapide de sonneries et d'arc

  • Les systèmes EBL Elionix écriture caractéristique rapide sur les grands champs avec une distorsion minimale à de forts courants de faisceau


October 23, 2015