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ELS-F125


Image: 
Product Series: 
Série F
ELS-F125
Le Elionix ELS-F100 est une grande vitesse, ultra émission de champ (TFE) système de lithographie par faisceau d'électrons thermique de haute précision développés pour répondre aux besoins du marread more


Model:
Model: 
ELS-F125
Nano Specs:
Nano Specs: 
  • Génère des modèles avec une largeur de ligne de 7nm
  • Faisceau d'électrons de 1,8 nm stable en utilisant le courant de faisceau élevé à 100 kV
  • Un DAC 20bits fournit une haute résolution faisceau de positionnement
  • Lors d'un courant de faisceau de 1nA, les lignes de 20 nm peuvent être écrites sur un ensemble de 500 pm
  • Stade de 8 pouces
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December 8, 2015