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Products

December 7, 2015

ELS-G100


Image: 
Product Series: 
Série G
ELS-G100

Le Elionix ELS-F100 est une grande vitesse, ultra émission de champ (TFE) système de lithographie par faisceau d'électrons thermique de haute précision développés pour répondre aux besoins du marchread more



Model:
Model: 
ELS-G100
Nano Specs:
Nano Specs: 
  • Génère des modèles avec une largeur de ligne de 7nm
  • Faisceau d'électrons de 1,8 nm stable en utilisant le courant de faisceau élevé à 100 kV
  • Un DAC 20bits fournit une haute résolution faisceau de positionnement
  • Lors d'un courant de faisceau de 1nA, les lignes de 20 nm peuvent être écrites sur un champ de 500 pm entier sans couture
  • Stade de 8 pouces
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December 8, 2015