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ナノファブリケーション


NNanofabricationは、以下のような多様な分野を包含し;ナノ光とソリッドステート回路、微小電気機械システム、およびマイクロ流体システム。エリオニクス電子ビームリソグラフィー(EBL)ツールは、小さなナノ構造体、優れた信頼性、小フットプリント、および所有の低コスト製造するための超高精度で知られています。

1975年以来、エリオニクス社は、微細加工、計測・分析の分野で重要な貢献をしてきました。エリオニクス企業理念は、二つのCSのものです。挑戦とスピード、そして顧客満足。現在までに、エリオニクス社は、世界中の機関や産業分野のお客様を検索するには350 EBLシステム上で販売しています。

Electron Beam Lithography


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ELS-F125
  • 125kVコラム
  • 8"(200ミリメートル)ステージ
  • 5nmのライン以下(保証)
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ELS-F100
  • 100kVコラム
  • 8"(200ミリメートル)ステージ
  • 6NMライン以下(保証)
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ELS-G100
  • 100kVコラム
  • 6"(150ミリメートル)ステージ
  • 6NMライン以下(保証)

電子ビーム
リソグラフィシステム:

40年以上にわたり、エリオニクス社は、品質とパフォーマンスの追求で網羅されています。これは、彼ら電子ビームリソグラフィにおける世界的なリーダーとなりました。

エリオニクスでは、重点は、安定した堅牢で、高い利用率を提供するエンジニアリング・システムです。エリオニクスの従業員の70%以上は、電子ビームリソグラフィシステムの設計と生産に従事しているエンジニア。エリオニクスは独自の電子光学カラム、最新である世界で唯一の125kVシステムを設計します。 もっと詳しく知る >>

電子ビームリソグラフィの画像:

  • エリオニクス125kVと100kV EBLシステムは、超微細ラインとピッチパターンを提供しています

  • エリオニクスサークルパターン発生器(CPG)は、リングと弧のパターンの、細かい滑らかで、高速書き込みを可能にします

  • エリオニクスEBLシステムは、高速、高ビーム電流で歪みの少ない大規模なフィールドへの書き込みフィーチャ


October 23, 2015